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橢偏儀是一種利用偏振態的變化 后光束探測樣品反應技術。不像反射儀，參數（PSI和Del）是在非正常的入射角得到。改變入射角。可以得到更多的數據集，這將有助于精煉模型，減少不確定性和提高用戶的數據信心。因此，可變角度比固定角度的系統具有更強大的功能 。目前有兩種方法改變入射角，手動或自動模式。

薄膜應力測量系統：在硅片等基板上附膜時，由于基板和薄膜的物理定數有異，產生應力，進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲，而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲（曲率半徑）的變化量測量其應力。

薄膜反射儀是一款相對較低成本和操作簡單的工具。基于陣列的探測器系統保證快速測量，可升級到MSP（顯微分光光度計）系統，SRM映射系統，多通道系統，大點的·直接測量圖案或功能結構。

光學接觸角測量儀可根據客戶的需求，針對不同的工作測試環境，提供相應的解決方案，如有技術請咨詢德國韋氏納米系統