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需要定期對(duì)微波去膠機(jī)進(jìn)行清潔和維護(hù)

微波去膠機(jī),特別是微波等離子去膠機(jī),在半導(dǎo)體加工、薄膜工藝等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,根據(jù)不同的光刻膠類型、基底材料和工藝要求,準(zhǔn)確調(diào)整微波功率、真空度、氣體流量等參數(shù),以確保去膠效果和基底不受損傷;微波具有一定的輻射危害,操作人員需采取相應(yīng)的防護(hù)措施...

2025-06-24

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