KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學輪廓儀和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉儀能夠高分辨率地測量亞納米級分辨率的表面形貌。這些機臺支持垂直掃描和相移干涉測量法。KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學輪廓儀采用TotalFocus™ 技術，可以產生令人驚嘆的 3D 自然彩色圖像，每個像素都處于聚焦狀態。新一代的 Profilm3D 引入了加強版粗糙度成像技術，可用于測量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在 Profilm3D 測量技術中，測量的垂直分辨率不依賴于物鏡的數值孔徑，能夠同時以大視場進行高分辨率的測量。通過將多個視場拼接到單次測量中，可以進一步增大測量區域。Profilm3D 還具有簡單、創新的用戶界面和自動化功能，支持從研發到生產的各種工作環境。

我們的 Profilm^® 軟件包采用優良的基于云的 ProfilmOnline^® 網絡服務、 Android 和 iOS 的移動應用程序以及高級 Profilm 桌面軟件，可提供靈活的數據存儲、可視化功能以及分析解決方案。

特征

• 垂直掃描和相移干涉測量法用于測量納米級到毫米級的表面特征

• TotalFocus 3D成像技術對整個測量范圍內的每個像素的聚焦能力都進行了優化

• 真彩色成像可生成實際的樣品顏色，增強可視化效果，尤其是對于細小或埋藏的特征

• 粗糙度增強模式 (ERM) 可提高條紋的對比度，從而提高透鏡等斜率較大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

• 該自動對焦功能具有行業優秀的長壓電行程范圍，可掃描高度相隔甚遠的多個表面

• 具有長行程范圍的 自動化 X-Y 樣品臺，非常適合分布測繪和拼接掃描

• 使用簡便的軟件包帶有高級 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移動應用程序，可用于靈活的數據存儲、可視化功能以及分析。

應用

• 臺階高度：從納米級到毫米級的 3D 臺階高度

• 紋理和形狀：3D粗糙度、波紋度、翹曲度和形狀

• 紋理表征

• 邊緣倒角：3D邊緣輪廓測量

• 缺陷表征：3D缺陷表面形貌、缺陷表征

• 對大型透明薄膜的表面進行高分辨率掃描

• 高粗糙度，低反射率，劃痕表征

行業

• 大學、實驗室和研究所

• 硅和化合物半導體

• 精密光學和機械

• 醫療設備

• LED：發光二極管

• 功率器件

• MEMS: 微機電系統

• 數據存儲

• 汽車