KLA  Tencor® P-7探針式輪廓儀以市場的Tencor P-17臺式探針式輪廓儀系統為基礎。它涵蓋了P-17的優秀測量性能，為臺式探針式輪廓儀提供了出色的性價比。KLA  Tencor® P-7探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達150mm，無需拼接。

特征

• 臺階高度：納米級到1000微米

• 恒定力控制：0.03至15mg

• 樣品的全直徑掃描，無需拼接

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機

• 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

• 軟件：簡單易用的軟件界面

• 生產能力：全自動測量，具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能

應用

• 臺階高度：2D和3D臺階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲、形狀

• 應力：2D和3D薄膜應力

• 缺陷檢測：2D和3D缺陷表面形貌

  
  

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工業

• 高校、實驗室和研究所

• 半導體和化合物半導體

• LED：發光二極管

• 太陽能

• MEMS：微機電系統

• 數據存儲

• 汽車

• 醫療器械