九九精品在线观看-九九九九-九九九免费观看视频-九九九亚洲精品-九九久久99-九九久久国产

歡迎您來到韋氏納米系統(深圳)有限公司網站!
產品中心 / products 您的位置:網站首頁 > 產品中心 > Ethcing/等離子蝕刻系統 > 等離子刻蝕ICP > Minilock-Phantom III ICP等離子刻蝕Minilock-Phantom III ICP

等離子刻蝕Minilock-Phantom III ICP

簡要描述:Minilock-Phantom III具有預真空室的反應離子刻蝕機

產品型號: Minilock-Phantom III ICP

所屬分類:等離子刻蝕ICP

更新時間:2019-01-17

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

 

 

Minilock-Phantom III具有預真空室的反應離子刻蝕機

可適用于單個基片或帶承片盤的基片(3”- 300mm尺寸),為實驗室和試制線生產環境提供xian jin的刻蝕能力。它也具有多尺寸批處理功能(4x3”; 3x4”; 7x2”)。

 

系統有多達七種工藝氣體可以用于刻蝕各種薄膜,如氧化硅、氮化硅、多晶硅、鋁、砷化鎵、鉻、銅、磷化銦和鈦。該反應室還可以用于去除光刻膠和有機材料。可選配靜電吸盤(E-chuck),以便更有效地在刻蝕工藝中讓基片保持冷卻。該E-chuck使用氦壓力控制器,及在基片背面保持一個氦冷卻層,從而達到控制基片溫度的作用。
該設備可選配一個電感耦合等離子(ICP)源,其使得用戶可以創建高密度等離子,從而提高刻蝕速率和各向異性等刻蝕性能。
基片通過預真空室裝入。其避免與工藝室以及任意殘余刻蝕副產品接觸,從而提高了用戶安全性。預真空室還使得工藝室始終保持在真空下,從而隔絕外部濕氣,防止反應室內可能發生的腐蝕。



留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
上一篇:Emerging Cleans
下一篇:CPS-XXX-CF低溫探針臺
18721247059

聯系我們

contact us

咨詢電話

400-9999-18518721247059

掃一掃,關注我們

返回頂部




主站蜘蛛池模板: 日韩一区二区三区免费看 | 精品国产v | 按摩视频一区二区三区 | 日本免费一区二区三区高清视频 | 区亚洲二区三区 | 精品一区二区三区在线 | 入口在线观看国产欧美 | 国产女女互摸互慰在线观 | 免费无人区一码二码乱码区别在哪 | 国产精品中文久 | 国产国产裸模裸模私拍视频 | 国产高清超 | 日韩伦理亚洲欧美在线 | 国产网红主播自拍视频在线观看 | 最近中文字幕mv第一季歌词 | 国产一区二区三区精品专区 | 免费在电影在线观看 | 国产一区二区三区丝袜精品 | 精品三级影视在线免费观看 | 私人影视| 欧美一区二区三区视频在线观看 | 亚洲欧美精品综合中文字幕 | 国产精品探花一区在线观看 | 99视频精品国在线视频艾草 | 日韩欧美精品一区二区三区 | 欧美专区三级在线观看 | 色哟哟www视频在线观看高清 | 另类亚洲图区在线视频 | 日韩熟女精品影院 | 国产专区日韩专区 | 亚州精品永久观看视频 | 国产高清视频色拍 | 国内精品91最新在线观看 | 欧美国产一区二区 | 亚洲视频网址 | 国产看片一区二区三区 | 免费动漫成本人视频网站 | 短视频在线下载免费 | 久热爱精品视频在 | 国产一区二区福利 | 亚洲+欧洲+日本+国产 |