九九精品在线观看-九九九九-九九九免费观看视频-九九九亚洲精品-九九久久99-九九久久国产

歡迎您來到韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司網(wǎng)站!
產(chǎn)品中心 / products 您的位置:網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > Thin Film薄膜沉積系統(tǒng) > PECVD沉積 > Minilock-Orion III PECVDPECVD沉積

PECVD沉積

簡要描述:PECVD沉積可選配一個三極管(Triode)或電感耦合等離子(ICP)源。三極管源使得用戶可以創(chuàng)建高密度等離子,從而控制薄膜應(yīng)力。

產(chǎn)品型號: Minilock-Orion III PECVD

所屬分類:PECVD沉積

更新時間:2024-06-17

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹
  PECVD沉積
 
  Minilock-Orion III是一套zui xian jin的等離子增強型化學(xué)汽相沉積(PECVD)系統(tǒng)。 系統(tǒng)的下電極尺寸可為200mm或300mm,且根據(jù)電極配置,可以處理單個基片或帶承片盤的基片(3”- 300mm尺寸),或者多尺寸批處理基片(4x3”; 3x4”; 7x2”)。
 
  Minilock-Orion III用于有毒/發(fā)火PECVD工藝。沉積薄膜:氧化物、氮氧化物、氮化物、無定形硅和碳化硅。工藝氣體:100%硅烷、氨、TEOS、二乙基硅烷、氧化亞氮、氧、氮、*基硅烷和甲烷。
 
  該系統(tǒng)可選配一個三極管(Triode)或電感耦合等離子(ICP)源。三極管源使得用戶可以創(chuàng)建高密度等離子,從而控制薄膜應(yīng)力。
 
  基片通過預(yù)真空室裝入工藝室,其避免了與工藝室以及任意殘余沉積副產(chǎn)品接觸,從而提高了用戶的安全性。預(yù)真空室還使得工藝室始終保持在真空下,從而保持反應(yīng)室與大氣隔絕。
 
 

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
18721247059

聯(lián)系我們

contact us

咨詢電話

400-9999-18518721247059

掃一掃,關(guān)注我們

返回頂部

聯(lián)


主站蜘蛛池模板: 国产普通话对白在线观看视频 | 又粗又大又硬又爽的免费视频 | 国产真实迷奷 | 污污美女网站 | 富婆按摩一区二区三区 | 加勒比综合免费不卡在线观看 | 国产欧美日韩另类一区乌克兰 | 国产福利精品在线观看 | 日韩欧美在线综合网高清 | 91精品国产亚洲爽啪在线影院 | 精品动漫 | 国产一区二区不卡老阿姨 | 欧美国产日韩极速在线 | 国精产品一区一区三区有 | 亚洲一线二线三线免费视频 | 成人影视在线观看 | 欧美激情观看一区 | 两个人的免费完整版中文字幕 | 国产91茄子在线播放 | 全视频tv | 亚洲日本在线看片 | 亚洲色精品视频 | 国产欧美亚洲一区二区三区四区 | 中文字字幕 | 欧美日韩免费精品一区二区在线 | 99re6在线观看国产 | 欧美日韩国产在线yw | 最近中文字幕亚洲电影 | 在线欧美日韩国产 | aⅴ手机看片高清 | 日韩欧美在线观看一区 | 日本视频在线观看不卡高清免费 | 欧美在线免费看 | 在线亚洲人成电影网站色www | 国产高清一区二区在线免费观看 | 国产精品思思五月婷高清在线 | 国产一区二区三区四区五区在线 | 更新日韩 | 国产午夜福利在线 | 国产极品美女在线观看网站 | 国产在线原创七七欠欠色综 |